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不了解擴(kuò)散硅壓力變送器的特點(diǎn)怎么能正確的使用它呢
點(diǎn)擊次數(shù):1105 更新時(shí)間:2022-03-22
  擴(kuò)散硅壓力變送器是利用壓阻效應(yīng)原理,采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過(guò)摻雜、擴(kuò)散,沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向,制成應(yīng)變電阻,構(gòu)成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學(xué)特性,在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工,就制成了一個(gè)集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測(cè)于一體的擴(kuò)散硅傳感器。
  傳感器的壓力直接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,傳感器的電阻值發(fā)生變化,用電子線路檢測(cè)這一變化,并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。
  今天小編要與大家分享的是擴(kuò)散硅壓力變送器所具備的產(chǎn)品特點(diǎn):
  1、適合制作小量程的變送器
  硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應(yīng)在零點(diǎn)附近的低量程段無(wú)死區(qū),制作壓力傳感器的量程可小到幾個(gè)Kpa。
  2、輸出靈敏度高
  硅應(yīng)變電阻的靈敏因子比金屬應(yīng)變計(jì)高50~100倍,故相應(yīng)的傳感器的靈敏度就很高,一般量程輸出為100mv左右。因此對(duì)接口電路無(wú)特殊要求,使用比較方便。
  3、精度高
  由于傳感器的感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測(cè)三部分由同一個(gè)元件實(shí)現(xiàn),沒(méi)有中間轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),重復(fù)性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大,變形很小,保證了良好的線性。
  4、由于工作單性形變低至微應(yīng)變數(shù)量級(jí),彈性芯片最大位移在亞微米數(shù)量級(jí),因而無(wú)磨損,無(wú)疲勞,無(wú)老化,壽命長(zhǎng)達(dá)1×103壓力循環(huán),性能穩(wěn)定,可靠性高。
  5、由于硅的優(yōu)良化學(xué)防腐性能,即使是非隔離型的傳感器,也有相當(dāng)程度的適應(yīng)各種介質(zhì)的能力。
  6、由于芯片采用集成工藝,又無(wú)傳動(dòng)部件,因此體積小,重量輕。
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